導(dǎo)向精度、高導(dǎo)向精度指的是導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)軌跡的準(zhǔn)確程度，它是導(dǎo)軌副的重要精度指標(biāo)。運(yùn)動(dòng)件的實(shí)際運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向之間的偏差越小，那么導(dǎo)向精度就越高。影響導(dǎo)向精度的主要因素有:導(dǎo)軌承導(dǎo)面的幾何精度、導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、導(dǎo)軌副的接觸精度和表面粗糙度;導(dǎo)軌和支承件的剛度;導(dǎo)軌的油膜厚度和油膜剛度;導(dǎo)軌和支承件的熱變形等。
　導(dǎo)軌的幾何精度一般包括導(dǎo)軌在垂直平面、水平平面內(nèi)的直線度和兩條導(dǎo)軌面間的平行度或兩導(dǎo)軌面間橫向某長(zhǎng)度的扭曲值。精度要求可以用導(dǎo)軌全長(zhǎng)上的誤差△或單位長(zhǎng)度上的誤差S表示。
　移動(dòng)靈敏度和定位精度均高移動(dòng)靈敏度(移動(dòng)分辨率)指工件臺(tái)完成一次移動(dòng)能達(dá)到的較短距離，定位精度指工件臺(tái)由運(yùn)動(dòng)狀態(tài)停止在某一指定點(diǎn)的能力。移動(dòng)靈敏度和定位精度與導(dǎo)軌的類(lèi)型、摩擦特性、運(yùn)動(dòng)速度、傳動(dòng)剛度、移動(dòng)件質(zhì)量等因素有關(guān)。
   ——THK導(dǎo)軌